愛德華XDS46i渦旋泵
Edwards XDS35i/XDS46i 干式渦旋泵
Edwards XDS35i/XDS46i 干式渦旋泵
軸承護罩
確保制程氣體和軸承潤滑分離,以保證清潔真空并使?jié)櫥槐恢瞥虤怏w污染,從而延長軸承使用壽命。
智能電機驅動
意味著全程穩(wěn)定的性能、泵過載保護和遠程啟動/停止功能。
高流速氣囊功能
允許泵送蒸汽,包括高達 240 gh-1 的水蒸汽
簡便的單側渦旋設計
可在數(shù)分鐘內完成維護,以降低擁有成本并大程度延長正常運行時間。
更進一步
增強型在初始抽空期間可減少多達 20% 的峰值電力需求,這意味著它能夠在不損失性能的情況下抽空大容量腔室,且在該粗抽壓力下抽取速度可提高達 25%,這也有助于提高應用循環(huán)頻率。
XDS 干式渦旋泵
在干泵真空領域,XDS 干式渦旋泵已成為行業(yè)標準,在廣泛的應用中被證明是一種堅固耐用且清潔的真空泵解決方案。
現(xiàn)在,結合zhuanli的雙啟動渦旋形式技術和旁通閥,Edwards 得以提供 XDS35i/XDS46i 增強型系列泵,以補充我們原有的產品線。