愛(ài)發(fā)科NRL180A干式真空泵維修

產(chǎn)品參數(shù)

品牌：愛(ài)發(fā)科ULVAC

型號(hào)：NRL180A

凈含量：268KG

簡(jiǎn)介：愛(ài)發(fā)科NRL180A干式真空泵維修，愛(ài)發(fā)科干泵維修

產(chǎn)品描述

產(chǎn)品詳情

愛(ài)發(fā)科NRL180A干式真空泵維修

NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵

特長(zhǎng)

NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時(shí)間的重要工藝腔

體的排氣。

低噪音、低振動(dòng)

優(yōu)良的耐腐蝕性

標(biāo)準(zhǔn)零部件采用高硬度并經(jīng)過(guò)優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理，降低對(duì)腐蝕性氣體排氣時(shí)泵體內(nèi)部的腐蝕程

度。

選購(gòu)件

可選購(gòu)消音器、冷卻水流量開(kāi)關(guān)、氮?dú)饬髁块_(kāi)關(guān)、泵溫傳感器。

用途

? 活性氣體（CVD、刻蝕等）。

? 排出非活性氣體（濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）。

? 用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣（Si單晶爐等）

? 作為前級(jí)泵使用（渦輪式分子泵、機(jī)械羅茨泵的前級(jí)泵）。

? 冷凍干燥等水蒸氣排氣。

標(biāo)簽：愛(ài)發(fā)科干式真空泵維修 NRL180A

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