XDS35i/XDS100密封包編號A73001801
XDS5-5C/10-10C密封包編號A72601805
nXDS6i/nXDS10i/nXDS15i/nXDS20i密封包A73501801
軸承護罩
確保制程氣體和軸承潤滑分離,以保證清潔真空并使?jié)櫥槐恢瞥虤怏w污染,從而延長軸承使用壽命。
智能電機驅(qū)動
意味著全程穩(wěn)定的性能、泵過載保護和遠程啟動/停止功能。
高流速氣囊功能
允許泵送蒸汽,包括高達 240 gh-1 的水蒸汽
簡便的單側(cè)渦旋設(shè)計
可在數(shù)分鐘內(nèi)完成維護,以降低擁有成本并大程度延長正常運行時間。
更進一步
增強型在初始抽空期間可減少多達 20% 的峰值電力需求,這意味著它能夠在不損失性能的情況下抽空大容量腔室,且在該粗抽壓力下抽取速度可提高達 25%,這也有助于提高應(yīng)用循環(huán)頻率。
XDS 干式渦旋泵
在干泵真空領(lǐng)域,XDS 干式渦旋泵已成為行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),在廣泛的應(yīng)用中被證明是一種堅固耐用且清潔的真空泵解決方案。
現(xiàn)在,結(jié)合專利的雙啟動渦旋形式技術(shù)和旁通閥,Edwards 得以提供 XDS35i 增強型系列泵,以補充我們原有的產(chǎn)品線。
產(chǎn)品應(yīng)用:
一般清潔泵送應(yīng)用,電子掃描顯微鏡-SEM,射束線和高能物理,前級渦輪泵,超高速離心機,覆層,低溫學(xué),脫氣/硫化-油,環(huán)氧樹脂,蒸餾/萃取/過濾,冷凍干燥,熔爐,凝膠體干燥,實驗室工作臺上真空,激光、氣體回收和再循環(huán),氦檢漏儀,負載鎖和傳輸腔,稀有氣體再循環(huán),稀有氣體回收,冷凍制造,研發(fā),旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器,SEM/FIB(離子束維修),溶劑回收,表面科學(xué)儀器。