nXDS20i愛德華渦旋泵維修nXDS20i愛德華渦旋泵維修EdwardsnXDS20i干式渦旋泵標(biāo)稱旋轉(zhuǎn)速度1800rpm排量28.0m3h-1/16.5ft3min-1峰值抽速22.0m3h-1/13.0ft3min-1極限真空（總壓力）0.030mbar/0.022Torr最小待機旋轉(zhuǎn)速度1200rpm速度控制精度（以全速百分比表示）1%最小轉(zhuǎn)速時的抽速10最大連續(xù)進(jìn)氣口壓力50mbar電機

XDS35i/XDS100密封包編號A73001801XDS5-5C/10-10C密封包編號A72601805nXDS6i/nXDS10i/nXDS15i/nXDS20i密封包A73501801軸承護(hù)罩確保制程氣體和軸承潤滑分離，以保證清潔真空并使?jié)櫥槐恢瞥虤怏w污染，從而延長軸承使用壽命。智能電機驅(qū)動意味著全程穩(wěn)定的性能、泵過載保護(hù)和遠(yuǎn)程啟動/停止功能。高流速氣囊功能允許泵送蒸汽，包括高達(dá)240

XDS35i/XDS100密封包編號A73001801XDS5-5C/10-10C密封包編號A72601805nXDS6i/nXDS10i/nXDS15i/nXDS20i密封包A73501801更進(jìn)一步增強型在初始抽空期間可減少多達(dá)20％的峰值電力需求，這意味著它能夠在不損失性能的情況下抽空大容量腔室，且在該粗抽壓力下抽取速度可提高達(dá)25％，這也有助于提高應(yīng)用循環(huán)頻率。XDS干式渦旋泵在干泵真空領(lǐng)

愛德華nXDS6i/nXDS10i渦旋泵密封圈XDS35i/XDS100密封包編號A73001801XDS5-5C/10-10C密封包編號A72601805nXDS6i/nXDS10i/nXDS15i/nXDS20i密封包A7350180152dB(A)入口法蘭處抗振性<4.5mms-1(rms)密封性（靜態(tài)）<1x10-6mbarls-1工作溫度范圍10至40°C/41至104°

愛德華nXDS15i/nXDS20i渦旋泵密封圈XDS35i/XDS100密封包編號A73001801XDS5-5C/10-10C密封包編號A72601805nXDS6i/nXDS10i/nXDS15i/nXDS20i密封包A73501801EdwardsnXDS15i干式渦旋泵標(biāo)稱旋轉(zhuǎn)速度1800rpm排量17.1m3h-1/10.1ft3min-1峰值抽速15.1m3h-1/8.9ft3min

愛德華nXDS20i渦旋泵維修介紹EdwardsnXDS20i干式渦旋泵標(biāo)稱旋轉(zhuǎn)速度1800rpm排量28.0m3h-1/16.5ft3min-1峰值抽速22.0m3h-1/13.0ft3min-1極限真空（總壓力）0.030mbar/0.022Torr最小待機旋轉(zhuǎn)速度1200rpm速度控制精度（以全速百分比表示）1%最小轉(zhuǎn)速時的抽速10最大連續(xù)進(jìn)氣口壓力50mbar電機功率（一相）260W電源連

EdwardsnXDS20i愛德華干式渦旋泵標(biāo)稱旋轉(zhuǎn)速度1800rpm排量28.0m3h-1/16.5ft3min-1峰值抽速22.0m3h-1/13.0ft3min-1極限真空（總壓力）0.030mbar/0.022Torr最小待機旋轉(zhuǎn)速度1200rpm速度控制精度（以全速百分比表示）1%最小轉(zhuǎn)速時的抽速10最大連續(xù)進(jìn)氣口壓力50mbar電機功率（一相）260W電源連接器（1相）IECEN603